dummygate

Dummy Gate 不只是占位,它在决定 Vt 分布

如果你在fab里的岗位是PIE/PDE,那么经常会去看layout,我们在layout里看到一大堆“假栅”(Dummy Gate),第一反应经常是:只是填空用的,为了平坦化、避免 CMP 问题。事实并不是这么简单。随着 FinFET / GAA 向更小节点推进

gate vt sram dummy dummygate 2025-10-26 01:42  2